簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Sensors".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="陳炤彰"


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    藍寶石晶圓之研光加工與摩擦力分析研究
    • 機械工程系 /100/ 碩士
    • 研究生: 曾景祥 指導教授: 陳炤彰
    • 目前隨著產業與科技的快速發展,固態照明的發光二極體(Light-emitting diode,LED)產業已成為趨勢,故在產業上用途也相當的廣泛,由於LED之基板材料多是以單晶氧化鋁(Al2O3)或…
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    智慧晶圓之無線動態化學機械拋光製程參數壓力與溫度量測系統
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 黃信傑 指導教授: 陳炤彰
    • 在半導體產業中,晶圓於化學機械拋光/平坦化(Chemical Mechanical Polishing /Planarization, CMP)過程中,下壓力變化可能會產生如表面刮傷、翹曲及腐蝕等缺…
    • 點閱:312下載:4
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